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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- タイコウ ターゲットシキ スパッタホウ ノ カイハツ ト ソノ ハクマク ケイセイ ヘ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 星陽一 [著]
- Author Heading
- 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 昭和58年12月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1983
- Dissertation Number
- 乙第1295号