中気圧グロープラズマの放電機構の解析法に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
【目次】
p1
第1章 序論
p1
第2章 Langmuir探針法と電子エネルギー分布の測定
p5
§2-1 プラズマの諸定数とその診断法
p5
§2-2 Langmuir探針法の原理
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チュウキアツ グロー プラズマ ノ ホウデン キコウ ノ カイセキホウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 斉藤善夫 [著]
- 著者標目
- 斉藤, 善夫 サイトウ, ヨシオ
- 授与機関名
- 北海道大学
- 授与年月日
- 平成3年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 甲第2919号
- 学位
- 工学博士