中気圧グロープラズマの放電機構の解析法に関する研究
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Table of Contents
【目次】
p1
第1章 序論
p1
第2章 Langmuir探針法と電子エネルギー分布の測定
p5
§2-1 プラズマの諸定数とその診断法
p5
§2-2 Langmuir探針法の原理
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- チュウキアツ グロー プラズマ ノ ホウデン キコウ ノ カイセキホウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 斉藤善夫 [著]
- Author Heading
- 斉藤, 善夫 サイトウ, ヨシオ
- Degree grantor/type
- 北海道大学
- Date Granted
- 平成3年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第2919号
- Degree Type
- 工学博士