イオン注入GaAsの活性化熱処理に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: イオン注入GaAsの活性化熱処理に関する研究
• タイトルよみ: イオン チュウニュウ GaAs ノ カッセイカ ネツ ショリ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 葛原正明 [著]
• 著者標目: 葛原, 正明 クズハラ, マサアキ ( 01221280 )典拠
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成3年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1991
• 報告番号: 乙第7481号
• 学位: 工学博士
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51; UT31
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-91-E258
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000238289; http://id.ndl.go.jp/bib/000000238289
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

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内容梗概

謝辞

第1章 序論