イオン注入GaAsの活性化熱処理に関する研究
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論文目録
目次
p3
内容梗概
p1
謝辞
p2
第1章 序論
p1
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- イオン チュウニュウ GaAs ノ カッセイカ ネツ ショリ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 葛原正明 [著]
- Author Heading
- 葛原, 正明 クズハラ, マサアキ ( 01221280 )Authorities
- Degree Grantor
- 京都大学
- Date Granted
- 平成3年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 乙第7481号
- Degree Type
- 工学博士