博士論文

高硬度窒化ほう素膜の室温合成

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高硬度窒化ほう素膜の室温合成

国立国会図書館請求記号
UT51-91-G219
国立国会図書館書誌ID
000000240154
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3085243
資料種別
博士論文
著者
安東靖典 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,工学博士
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  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 窒化ほう素の物性と薄膜化

    p1

  • 1-2 高硬度膜の必要性

    p4

  • 1-3 イオン蒸着薄膜形成法

    p8

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書誌情報

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紙 デジタル

資料種別
博士論文
タイトル
高硬度窒化ほう素膜の室温合成
タイトルよみ
コウコウド チッカ ホウソマク ノ シツオン ゴウセイ
著者・編者
安東靖典 [著]
著者標目
安東, 靖典 アンドウ, ヤスノリ
授与機関名
大阪大学
授与年月日
平成3年2月1日
授与年月日（W3CDTF）
1991
報告番号
乙第5243号
学位
工学博士