高硬度窒化ほう素膜の室温合成
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1-1 窒化ほう素の物性と薄膜化
p1
1-2 高硬度膜の必要性
p4
1-3 イオン蒸着薄膜形成法
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- コウコウド チッカ ホウソマク ノ シツオン ゴウセイ
- Author/Editor
- 安東靖典 [著]
- Author Heading
- 安東, 靖典 アンドウ, ヤスノリ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成3年2月1日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 乙第5243号
- Degree Type
- 工学博士