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目次
Contents
p7
1 Introduction
p1
REFERENCES
p5
2 Growth of Crystalline ZrO₂ Films on Si
p7
2.1 Introduction
p7
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書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 福本博文 [著]
- 著者標目
- 福本, 博文 フクモト, ヒロフミ
- 並列タイトル等
- Si上の酸化物絶縁体薄膜の形成と評価 Siジョウ ノ サンカブツ ゼツエンタイ ハクマク ノ ケイセイ ト ヒョウカ
- 授与機関名
- 広島大学
- 授与年月日
- 平成3年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1991
- 報告番号
- 甲第976号
- 学位
- 工学博士