Studies on quantitative analysis of impurities in compound semiconductors by secondary ion mass spectrometry

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on quantitative analysis of impurities in compound semiconductors by secondary ion mass spectrometry
• 著者・編者: 田中融 [著]
• 著者標目: 田中, 融 タナカ, トオル
• 並列タイトル等: 二次イオン質量分析法による化合物半導体中不純物の定量分析に関する研究 ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイチュウ フジュンブツ ノ テイリョウ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成3年10月5日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1991
• 報告番号: 乙第5514号
• 学位: 理学博士
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51; UT21
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-91-X377
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000245432; http://id.ndl.go.jp/bib/000000245432
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

Chapter1.General Introduction

1.1 Background

1.2 Problems in quantitative analysis

1.3 Purposes and scope of this article