Studies on quantitative analysis of impurities in compound semiconductors by secondary ion mass spectrometry

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on quantitative analysis of impurities in compound semiconductors by secondary ion mass spectrometry
• Author/Editor: 田中融 [著]
• Author Heading: 田中, 融 タナカ, トオル
• Alternative Title: 二次イオン質量分析法による化合物半導体中不純物の定量分析に関する研究 ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイチュウ フジュンブツ ノ テイリョウ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成3年10月5日
• Date Granted (W3CDTF): 1991
• Dissertation Number: 乙第5514号
• Degree Type: 理学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT21
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-91-X377
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000245432; http://id.ndl.go.jp/bib/000000245432
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Chapter1.General Introduction

1.1 Background

1.2 Problems in quantitative analysis

1.3 Purposes and scope of this article