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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
ABSTRACT
p6
Contents
p8
Acknowledgement
p2
CHAPTER1 Introduction
p10
CHAPTER2 Ion Beam Assisted Etching
p21
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 徐征 [著]
- 著者標目
- 徐, 征 シュイ, チョン
- 並列タイトル等
- 集束イオンビームによるその場加工技術の開発に関する研究 シュウソク イオン ビーム ニ ヨル ソノバ カコウ ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成3年10月28日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1991
- 報告番号
- 乙第5537号
- 学位
- 工学博士