半導体集積回路用高密度多層配線技術に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 半導体集積回路用高密度多層配線技術に関する研究
• タイトルよみ: ハンドウタイ シュウセキ カイロヨウ コウミツド タソウ ハイセン ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 本間喜夫 [著]
• 著者標目: 本間, 喜夫 ホンマ, ヨシオ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成3年10月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1991
• 報告番号: 乙第2269号
• 学位: 工学博士
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51; UT31
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-92-N220
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000252832; http://id.ndl.go.jp/bib/000000252832
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 多層配線技術の推移と課題