半導体集積回路用高密度多層配線技術に関する研究
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Table of Contents
論文目録
目次
p5
第1章 序論
p1
1.1 研究の背景
p2
1.2 多層配線技術の推移と課題
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ シュウセキ カイロヨウ コウミツド タソウ ハイセン ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 本間喜夫 [著]
- Author Heading
- 本間, 喜夫 ホンマ, ヨシオ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成3年10月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 乙第2269号
- Degree Type
- 工学博士