フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究
• タイトルよみ: フォトレジスト ト ムキ キバン ト ノ セッチャク キコウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 河合晃 [著]
• 著者標目: 河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )典拠
• 授与機関名: 長岡技術科学大学
• 授与年月日: 平成4年8月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1992
• 報告番号: 甲第66号
• 学位: 工学博士
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51; UT31
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-92-S278
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000254859; http://id.ndl.go.jp/bib/000000254859
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 LSIと光リソグラフィー技術

1.3 LSIにおける接着の課題