フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 研究の背景
p1
1.2 LSIと光リソグラフィー技術
p2
1.3 LSIにおける接着の課題
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- フォトレジスト ト ムキ キバン ト ノ セッチャク キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 河合晃 [著]
- Author Heading
- 河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
- Degree grantor/type
- 長岡技術科学大学
- Date Granted
- 平成4年8月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 甲第66号
- Degree Type
- 工学博士