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博士論文

フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-92-S278
Bibliographic ID of National Diet Library
000000254859
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/2964564
Material type
博士論文
Author
河合晃 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
長岡技術科学大学,工学博士
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博士論文

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  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景

    p1

  • 1.2 LSIと光リソグラフィー技術

    p2

  • 1.3 LSIにおける接着の課題

    p7

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究
Title Transcription
フォトレジスト ト ムキ キバン ト ノ セッチャク キコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
河合晃 [著]
Author Heading
河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
Degree grantor/type
長岡技術科学大学
Date Granted
平成4年8月31日
Date Granted (W3CDTF)
1992
Dissertation Number
甲第66号
Degree Type
工学博士