Study on interface of silicon based heterojunction structure using high energy ion scattering spectrometry

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study on interface of silicon based heterojunction structure using high energy ion scattering spectrometry
• 著者・編者: 文鍾 [著]
• 著者標目: 文, 鍾 ムン, チョン
• 並列タイトル等: 高速イオン散乱分光法によるシリコンヘテロ界面構造に関する研究 コウソク イオン サンラン ブンコウホウ ニ ヨル シリコン ヘテロ カイメン コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成5年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1993
• 報告番号: 甲第4786号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 著者別名: Moon, Jong
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-93-E224
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000258006; http://id.ndl.go.jp/bib/000000258006
• 整理区分コード: 213

目次

ABSTRACT

CONTENTS

Chapter1 General Introduction

References

Chapter2 Principal of Experiments