博士論文
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Study on interface of silicon based heterojunction structure using high energy ion scattering spectrometry

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Study on interface of silicon based heterojunction structure using high energy ion scattering spectrometry

Call No. (NDL)
UT51-93-E224
Bibliographic ID of National Diet Library
000000258006
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3065906
Material type
博士論文
Author
文鍾 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • ABSTRACT

    p1

  • CONTENTS

    p5

  • Chapter1 General Introduction

    p1

  • References

    p7

  • Chapter2 Principal of Experiments

    p8

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
文鍾 [著]
Author Heading
文, 鍾 ムン, チョン
Alternative Title
高速イオン散乱分光法によるシリコンヘテロ界面構造に関する研究 コウソク イオン サンラン ブンコウホウ ニ ヨル シリコン ヘテロ カイメン コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
平成5年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1993
Dissertation Number
甲第4786号
Degree Type
博士 (工学)