Study on silicon capacitive microsensors and electrostatic microactuators : towards a micro electro mechanical system (MEMS)

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study on silicon capacitive microsensors and electrostatic microactuators : towards a micro electro mechanical system (MEMS)
• 著者・編者: 鈴木健一郎 [著]
• 著者標目: 鈴木, 健一郎, 応用物理学 スズキ, ケンイチロウ, オウヨウ ブツリガク ( 01214992 )典拠
• 並列タイトル等: シリコン静電容量形マイクロセンサと静電マイクロアクチュエータの研究 : 微小電気機械システム(MEMS)の実現へ向って シリコン セイデン ヨウリョウケイ マイクロセンサ ト セイデン マイクロアクチュエータ ノ ケンキュウ : ビショウ デンキ キカイ システム (MEMS) ノ ジツゲン エ ムカッテ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成5年5月12日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1993
• 報告番号: 乙第6088号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-93-R238
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000263872; http://id.ndl.go.jp/bib/000000263872
• 整理区分コード: 213

目次

TABLE OF CONTENTS

I.INTRODUCTION

1.1 EXPECTATION FOR MICROSYSTEM

1.2 KEY ROLE OF CAPACITIVE SENSORS AND ELECTROSTATIC ACTUATORS

1.3 OBJECTIVE AND SCOPE OF THE DISSERTATION