Study on silicon capacitive microsensors and electrostatic microactuators : towards a micro electro mechanical system (MEMS)

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on silicon capacitive microsensors and electrostatic microactuators : towards a micro electro mechanical system (MEMS)
• Author/Editor: 鈴木健一郎 [著]
• Author Heading: 鈴木, 健一郎, 応用物理学 スズキ, ケンイチロウ, オウヨウ ブツリガク ( 01214992 )Authorities
• Alternative Title: シリコン静電容量形マイクロセンサと静電マイクロアクチュエータの研究 : 微小電気機械システム(MEMS)の実現へ向って シリコン セイデン ヨウリョウケイ マイクロセンサ ト セイデン マイクロアクチュエータ ノ ケンキュウ : ビショウ デンキ キカイ システム (MEMS) ノ ジツゲン エ ムカッテ
• Degree Grantor: 東北大学
• Date Granted: 平成5年5月12日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 乙第6088号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-R238
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000263872; http://id.ndl.go.jp/bib/000000263872
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

TABLE OF CONTENTS

I.INTRODUCTION

1.1 EXPECTATION FOR MICROSYSTEM

1.2 KEY ROLE OF CAPACITIVE SENSORS AND ELECTROSTATIC ACTUATORS

1.3 OBJECTIVE AND SCOPE OF THE DISSERTATION