Study on silicon capacitive microsensors and electrostatic microactuators : towards a micro electro mechanical system (MEMS)
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Table of Contents
TABLE OF CONTENTS
p1
I.INTRODUCTION
p1
1.1 EXPECTATION FOR MICROSYSTEM
p3
1.2 KEY ROLE OF CAPACITIVE SENSORS AND ELECTROSTATIC ACTUATORS
p5
1.3 OBJECTIVE AND SCOPE OF THE DISSERTATION
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 鈴木健一郎 [著]
- Author Heading
- 鈴木, 健一郎, 応用物理学 スズキ, ケンイチロウ, オウヨウ ブツリガク ( 01214992 )Authorities
- Alternative Title
- シリコン静電容量形マイクロセンサと静電マイクロアクチュエータの研究 : 微小電気機械システム(MEMS)の実現へ向って シリコン セイデン ヨウリョウケイ マイクロセンサ ト セイデン マイクロアクチュエータ ノ ケンキュウ : ビショウ デンキ キカイ システム (MEMS) ノ ジツゲン エ ムカッテ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成5年5月12日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第6088号
- Degree Type
- 博士 (工学)