ECRプラズマを用いて製作される微結晶立方晶BN膜の成長と物性
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目次
Contents
p7
Preface
p5
1 Introduction
p1
1.1 Boron Nitride
p1
1.2 Preparation of Cubic Boron Nitride
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ECR プラズマ オ モチイテ セイサクサレル ビケッショウ リッポウショウ BNマク ノ セイチョウ ト ブッセイ
- 著者・編者
- 岡本雅樹 [著]
- 著者標目
- 岡本, 雅樹 オカモト, マサキ
- 授与機関名
- 広島大学
- 授与年月日
- 平成5年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 甲第1155号
- 学位
- 博士 (工学)