アモルファスシリコンのシリサイド化過程の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: アモルファスシリコンのシリサイド化過程の研究
• タイトルよみ: アモルファス シリコン ノ シリサイドカ カテイ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 河津祐之介 [著]
• 著者標目: 河津, 祐之介 カワズ, ユウノスケ
• 授与機関名: 筑波大学
• 授与年月日: 平成2年7月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1990
• 報告番号: 甲第796号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-93-V311
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000266083; http://id.ndl.go.jp/bib/000000266083
• 整理区分コード: 213

目次

目次

§1 序論

§2 実験

2.1 試料

2.2 実験方法