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目次
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この論文の概要
p1
第1章 序論
p5
1-1 薄膜イオンプロセスの重要性とその問題点
p5
1-2 薄膜イオンプロセスの低エネルギー化の研究動向
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- エネルギー オ セイギョシタ ハクマク イオン プロセス ノ トンネル セツゴウ ソシ サクセイ エ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 宇佐美興一 [著]
- 著者標目
- 宇佐美, 興一 ウサミ, コウイチ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成5年11月10日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1993
- 報告番号
- 乙第6198号
- 学位
- 博士 (工学)