スパッタリングとプラズマ窒化を用いた高飽和磁束密度軟磁性多層膜に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1.研究の背景-磁気記録の高密度化-
p1
1.2.磁気ヘッド材料の変遷
p5
1.3.今日までの軟磁性薄膜の研究
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スパッタリング ト プラズマ チッカ オ モチイタ コウホウワ ジソク ミツド ナンジセイ タソウマク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 小野秀昭 [著]
- 著者標目
- 小野, 秀昭 オノ, ヒデアキ
- 授与機関名
- 明治大学
- 授与年月日
- 平成6年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 乙第191号
- 学位
- 博士 (工学)