スパッタリングとプラズマ窒化を用いた高飽和磁束密度軟磁性多層膜に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1.研究の背景-磁気記録の高密度化-
p1
1.2.磁気ヘッド材料の変遷
p5
1.3.今日までの軟磁性薄膜の研究
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スパッタリング ト プラズマ チッカ オ モチイタ コウホウワ ジソク ミツド ナンジセイ タソウマク ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 小野秀昭 [著]
- Author Heading
- 小野, 秀昭 オノ, ヒデアキ
- Degree grantor/type
- 明治大学
- Date Granted
- 平成6年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 乙第191号
- Degree Type
- 博士 (工学)