Study on atmospheric pressure CVD using organic silicon sources and ozone

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study on atmospheric pressure CVD using organic silicon sources and ozone
• 著者・編者: 藤野勝裕 [著]
• 著者標目: 藤野, 勝裕 フジノ, カツヒロ
• 並列タイトル等: 有機シリコンとオゾンによる常圧化学気相成長の研究 ユウキ シリコン ト オゾン ニ ヨル ジョウアツ カガク キソウ セイチョウ ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成5年3月18日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1993
• 報告番号: 乙第11201号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-94-P539
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000274051; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274051
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

Preface(the purpose and overview of this dissertation)

Chapter 1 Introduction

1-1 CVD Technology

1-2 Conventional CVD