rfマグネトロン型シートプラズマの生成機構とその高密度化

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: rfマグネトロン型シートプラズマの生成機構とその高密度化
• タイトルよみ: rf マグネトロンガタ シート プラズマ ノ セイセイ キコウ ト ソノ コウミツドカ
• 著者・編者: 村田健治 [著]
• 著者標目: 村田, 健治 ムラタ, ケンジ
• 授与機関名: 佐賀大学
• 授与年月日: 平成6年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 甲第4号
• 学位: 博士 (学術)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-94-Q434
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000274490; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274490
• 整理区分コード: 213

目次

目次

本論文で使用した記号

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 従来のシートプラスマ装置