rfマグネトロン型シートプラズマの生成機構とその高密度化
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p1
本論文で使用した記号
p3
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 従来のシートプラスマ装置
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- rf マグネトロンガタ シート プラズマ ノ セイセイ キコウ ト ソノ コウミツドカ
- 著者・編者
- 村田健治 [著]
- 著者標目
- 村田, 健治 ムラタ, ケンジ
- 授与機関名
- 佐賀大学
- 授与年月日
- 平成6年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 甲第4号
- 学位
- 博士 (学術)