Jump to main content

博士論文

rfマグネトロン型シートプラズマの生成機構とその高密度化

Icons representing 博士論文
The cover of this title could differ from library to library.

Available with Digitized Contents Transmission Service

Find on the publisher's website

NDL Digital Collections

Available for viewing via the Digitized Contents Transmission Service for Individuals to official registered users of the NDL, who resides in Japan.

Become an official registered user >

Log in >

rfマグネトロン型シートプラズマの生成機構とその高密度化

Call No. (NDL)
UT51-94-Q434
Bibliographic ID of National Diet Library
000000274490
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3077358
Material type
博士論文
Author
村田健治 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
佐賀大学,博士 (学術)
View All

Notes on use

Note (General)：

博士論文

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Read this material in an accessible format.

View materials in accessible formats for people with print disabilities (1Type)

Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 本論文で使用した記号

    p3

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 従来のシートプラスマ装置

    p7

Search by Bookstore

Read in Disability Resources

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
rfマグネトロン型シートプラズマの生成機構とその高密度化
Title Transcription
rf マグネトロンガタ シート プラズマ ノ セイセイ キコウ ト ソノ コウミツドカ
Author/Editor
村田健治 [著]
Author Heading
村田, 健治 ムラタ, ケンジ
Degree grantor/type
佐賀大学
Date Granted
平成6年3月23日
Date Granted (W3CDTF)
1994
Dissertation Number
甲第4号
Degree Type
博士 (学術)