rfマグネトロン型シートプラズマの生成機構とその高密度化
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Table of Contents
目次
p1
本論文で使用した記号
p3
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 従来のシートプラスマ装置
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- rf マグネトロンガタ シート プラズマ ノ セイセイ キコウ ト ソノ コウミツドカ
- Author/Editor
- 村田健治 [著]
- Author Heading
- 村田, 健治 ムラタ, ケンジ
- Degree grantor/type
- 佐賀大学
- Date Granted
- 平成6年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 甲第4号
- Degree Type
- 博士 (学術)