Microfabrication using UV laser induced polymerization

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Microfabrication using UV laser induced polymerization
• 著者・編者: Abraha, Petros Abbay [著]
• 著者標目: Abraha, Petros Abbay アブラハ, ペトロス アバイ
• 並列タイトル等: 紫外線レーザ誘起重合反応によるマイクロ加工 シガイセン レーザ ユウキ ジュウゴウ ハンノウ ニ ヨル マイクロ カコウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成6年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 甲第2917号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-94-R36
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000274593; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274593
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1 Introduction

2 Fabrication of Micro-molds using Mask-based Pattern Transfer

2.1 Manufacturing Method

2.2 Simulation of the accuracy of pattern transfer