PVD法により作製した金属薄膜の形成機構と評価

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: PVD法により作製した金属薄膜の形成機構と評価
• タイトルよみ: PVDホウ ニ ヨリ サクセイシタ キンゾク ハクマク ノ ケイセイ キコウ ト ヒョウカ
• 著者・編者: 李明勲 [著]
• 著者標目: 李, 明勲 イ, ミョンフン
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成6年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 甲第2930号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 著者別名: Lee, Myeong-hoon
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-94-R49
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000274606; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274606
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

第1節 緒言

第2節 PVD法の特徴と種類

第3節 PVD法による薄膜の従来の研究