PVD法により作製した金属薄膜の形成機構と評価
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Table of Contents
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目次
第1章 序論
p1
第1節 緒言
p1
第2節 PVD法の特徴と種類
p2
第3節 PVD法による薄膜の従来の研究
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- PVDホウ ニ ヨリ サクセイシタ キンゾク ハクマク ノ ケイセイ キコウ ト ヒョウカ
- Author/Editor
- 李明勲 [著]
- Author Heading
- 李, 明勲 イ, ミョンフン
- Degree Grantor
- 名古屋大学
- Date Granted
- 平成6年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 甲第2930号
- Degree Type
- 博士 (工学)