シリコン結晶における微小格子歪のX線トポグラフィによる研究
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p1
序論
p1
第1部 シリコン結晶中微小欠陥が形成する格子歪の研究
p3
第1章 動力学的回折理論
p5
1.1 2波近似による取り扱い
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン ケッショウ ニ オケル ビショウ コウシヒズミ ノ Xセン トポグラフィ ニ ヨル ケンキュウ
- 著者・編者
- 木村滋 [著]
- 著者標目
- 木村, 滋 キムラ, シゲル
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成6年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 甲第2976号
- 学位
- 博士 (工学)