シリコン結晶における微小格子歪のX線トポグラフィによる研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: シリコン結晶における微小格子歪のX線トポグラフィによる研究
• タイトルよみ: シリコン ケッショウ ニ オケル ビショウ コウシヒズミ ノ Xセン トポグラフィ ニ ヨル ケンキュウ
• 著者・編者: 木村滋 [著]
• 著者標目: 木村, 滋 キムラ, シゲル
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成6年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 甲第2976号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-94-R95
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000274652; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274652
• 整理区分コード: 213

目次

目次

序論

第1部 シリコン結晶中微小欠陥が形成する格子歪の研究

第1章 動力学的回折理論

1.1 2波近似による取り扱い