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シリコン結晶における微小格子歪のX線トポグラフィによる研究

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シリコン結晶における微小格子歪のX線トポグラフィによる研究

国立国会図書館請求記号
UT51-94-R95
国立国会図書館書誌ID
000000274652
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3096333
資料種別
博士論文
著者
木村滋 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 序論

    p1

  • 第1部 シリコン結晶中微小欠陥が形成する格子歪の研究

    p3

  • 第1章 動力学的回折理論

    p5

  • 1.1 2波近似による取り扱い

    p5

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
シリコン ケッショウ ニ オケル ビショウ コウシヒズミ ノ Xセン トポグラフィ ニ ヨル ケンキュウ
著者・編者
木村滋 [著]
著者標目
木村, 滋 キムラ, シゲル
授与機関名
名古屋大学
授与年月日
平成6年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1994
報告番号
甲第2976号
学位
博士 (工学)