シリコン結晶における微小格子歪のX線トポグラフィによる研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン結晶における微小格子歪のX線トポグラフィによる研究
• Title Transcription: シリコン ケッショウ ニ オケル ビショウ コウシヒズミ ノ Xセン トポグラフィ ニ ヨル ケンキュウ
• Author/Editor: 木村滋 [著]
• Author Heading: 木村, 滋 キムラ, シゲル
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成6年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 甲第2976号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-R95
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000274652; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274652
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

序論

第1部 シリコン結晶中微小欠陥が形成する格子歪の研究

第1章 動力学的回折理論

1.1 2波近似による取り扱い