プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究
• タイトルよみ: プラズマ CVDホウ ニ ヨル SiNxCyマク ノ ゴウセイ ト ソノ トクセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 森山実 [著]
• 著者標目: 森山, 実 モリヤマ, ミノル
• 授与機関名: 長岡技術科学大学
• 授与年月日: 平成6年7月20日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 乙第51号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-94-W456
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000277674; http://id.ndl.go.jp/bib/000000277674
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 研究の目的

1.3 本論文の概要