プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 研究の背景
p1
1.2 研究の目的
p11
1.3 本論文の概要
p11
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ CVDホウ ニ ヨル SiNxCyマク ノ ゴウセイ ト ソノ トクセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 森山実 [著]
- Author Heading
- 森山, 実 モリヤマ, ミノル
- Degree grantor/type
- 長岡技術科学大学
- Date Granted
- 平成6年7月20日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 乙第51号
- Degree Type
- 博士 (工学)