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博士論文

プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究

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プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究

Call No. (NDL)
UT51-94-W456
Bibliographic ID of National Diet Library
000000277674
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3079040
Material type
博士論文
Author
森山実 [著]
Publisher
-
Date granted
平成6年7月20日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
長岡技術科学大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景

    p1

  • 1.2 研究の目的

    p11

  • 1.3 本論文の概要

    p11

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究
Title Transcription
プラズマ CVDホウ ニ ヨル SiNxCyマク ノ ゴウセイ ト ソノ トクセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
Author/Editor
森山実 [著]
Author Heading
森山, 実 モリヤマ, ミノル
Degree Grantor
長岡技術科学大学
Date Granted
平成6年7月20日
Date Granted (W3CDTF)
1994
Dissertation Number
乙第51号
Degree Type
博士 (工学)