プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究

• Material Type: 博士論文
• Title: プラズマCVD法によるSiN[x]C[y]膜の合成とその特性に関する基礎的研究
• Title Transcription: プラズマ CVDホウ ニ ヨル SiNxCyマク ノ ゴウセイ ト ソノ トクセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 森山実 [著]
• Author Heading: 森山, 実 モリヤマ, ミノル
• Degree grantor/type: 長岡技術科学大学
• Date Granted: 平成6年7月20日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 乙第51号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-W456
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000277674; http://id.ndl.go.jp/bib/000000277674
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 研究の目的

1.3 本論文の概要