シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究
• タイトルよみ: シリコン - ネツ サンカマクケイ ノ カイメン ゲンシ コウゾウ ト デンキテキ セイシツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 丹羽正昭 [著]
• 著者標目: 丹羽, 正昭 ニワ, マサアキ
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成6年10月5日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 乙第6442号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-A311
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000279802; http://id.ndl.go.jp/bib/000000279802
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1-1 本研究の背景

1-2 本研究の目的

1-3 本論文の構成