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博士論文

シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究

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シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-A311
Bibliographic ID of National Diet Library
000000279802
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3080061
Material type
博士論文
Author
丹羽正昭 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 本研究の背景

    p1

  • 1-2 本研究の目的

    p9

  • 1-3 本論文の構成

    p9

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究
Title Transcription
シリコン - ネツ サンカマクケイ ノ カイメン ゲンシ コウゾウ ト デンキテキ セイシツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
丹羽正昭 [著]
Author Heading
丹羽, 正昭 ニワ, マサアキ
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
平成6年10月5日
Date Granted (W3CDTF)
1994
Dissertation Number
乙第6442号
Degree Type
博士 (工学)