GaAs/AlGaAs極微構造作製のための低損傷真空一貫プロセスに関する研究
図書館・個人送信サービスを利用する
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
国立国会図書館の登録利用者（本登録）の方を対象とした、個人送信サービスで閲覧可能です。ただし、日本国外に居住している場合は、個人送信サービスを利用できません。
書店で探す
障害者向け資料で読む
目次
提供元：国立国会図書館デジタルコレクションヘルプページへのリンク
目次
第1章 序論
p1
1-1 GaAs/AlGaAsにおける極微構造作製の現状と課題
p1
1-2 本研究の目的と意義
p5
1-3 本論文の構成
p7
書店で探す
障害者向け資料で読む
- みなサーチ
- プレーンテキスト
みなサーチに登録・ログインで利用できます
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- GaAs/AlGaAs ゴクビ コウゾウ サクセイ ノ タメ ノ テイソンショウ シンクウ イッカン プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 田中信幸 [著]
- 著者標目
- 田中, 信幸 タナカ, ノブユキ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成6年10月19日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 乙第6450号
- 学位
- 博士 (工学)