GaAs/AlGaAs極微構造作製のための低損傷真空一貫プロセスに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: GaAs/AlGaAs極微構造作製のための低損傷真空一貫プロセスに関する研究
• Title Transcription: GaAs/AlGaAs ゴクビ コウゾウ サクセイ ノ タメ ノ テイソンショウ シンクウ イッカン プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 田中信幸 [著]
• Author Heading: 田中, 信幸 タナカ, ノブユキ
• Degree Grantor: 大阪大学
• Date Granted: 平成6年10月19日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 乙第6450号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-A319
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000279810; http://id.ndl.go.jp/bib/000000279810
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1-1 GaAs/AlGaAsにおける極微構造作製の現状と課題

1-2 本研究の目的と意義

1-3 本論文の構成