シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 研究の背景と目的
p1
1.2 本論文の要旨と構成
p7
第2章 バナジウムが形成する欠陥の評価
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン ケッショウチュウ ノ ビショウ ケッカン ト ソノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 佐道泰造 [著]
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 平成7年3月27日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 甲第3494号
- 学位
- 博士 (工学)