シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 研究の背景と目的
p1
1.2 本論文の要旨と構成
p7
第2章 バナジウムが形成する欠陥の評価
p10
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ケッショウチュウ ノ ビショウ ケッカン ト ソノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 佐道泰造 [著]
- Author Heading
- 佐道, 泰造 サドウ, タイゾウ ( 01111354 )Authorities
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成7年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1995
- Dissertation Number
- 甲第3494号
- Degree Type
- 博士 (工学)