シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究
• Title Transcription: シリコン ケッショウチュウ ノ ビショウ ケッカン ト ソノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 佐道泰造 [著]
• Author Heading: 佐道, 泰造 サドウ, タイゾウ ( 01111354 )Authorities
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成7年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 甲第3494号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-E289
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000281934; http://id.ndl.go.jp/bib/000000281934
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景と目的

1.2 本論文の要旨と構成

第2章 バナジウムが形成する欠陥の評価