Mechanism of film formation in electron cyclotron resonance plasma CVD
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目次
Contents
p1
1 General Introduction
p1
1.1 Historical Background
p1
1.2 Objective of This Research
p3
References
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 張梅 [著]
- 著者標目
- 張, 梅 チョウ, メイ
- 並列タイトル等
- ECRプラズマCVDにおける薄膜の成長機構 ECR プラズマ CVD ニ オケル ハクマク ノ セイチョウ キコウ
- 授与機関名
- 大阪府立大学
- 授与年月日
- 平成7年3月31日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1995
- 報告番号
- 甲第366号
- 学位
- 博士 (工学)