Mechanism of film formation in electron cyclotron resonance plasma CVD

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Mechanism of film formation in electron cyclotron resonance plasma CVD
• 著者・編者: 張梅 [著]
• 著者標目: 張, 梅 チョウ, メイ
• 並列タイトル等: ECRプラズマCVDにおける薄膜の成長機構 ECR プラズマ CVD ニ オケル ハクマク ノ セイチョウ キコウ
• 授与機関名: 大阪府立大学
• 授与年月日: 平成7年3月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1995
• 報告番号: 甲第366号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 著者別名: Zhang, Mei
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-M117
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000285354; http://id.ndl.go.jp/bib/000000285354
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1 General Introduction

1.1 Historical Background

1.2 Objective of This Research

References