非平衡反応性プラズマのモデリング : 狭ギャップリアクティブイオンエッチャーに関する研究
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目次
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論文目録
もくじ
p1
1 序論
p1
1.1 プラズフプロセシングスと狭ギャップRIE
p2
1.2 非平衡プラズマの研究の現状
p12
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヒヘイコウ ハンノウセイ プラズマ ノ モデリング : キョウギャップ リアクティブ イオン エッチャー ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 中野誠彦 [著]
- 著者標目
- 中野, 誠彦 ナカノ, ノブヒコ
- 授与機関名
- 慶應義塾大学
- 授与年月日
- 平成7年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 甲第1334号
- 学位
- 博士 (工学)