非平衡反応性プラズマのモデリング : 狭ギャップリアクティブイオンエッチャーに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 非平衡反応性プラズマのモデリング : 狭ギャップリアクティブイオンエッチャーに関する研究
• Title Transcription: ヒヘイコウ ハンノウセイ プラズマ ノ モデリング : キョウギャップ リアクティブ イオン エッチャー ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 中野誠彦 [著]
• Author Heading: 中野, 誠彦 ナカノ, ノブヒコ
• Degree grantor/type: 慶應義塾大学
• Date Granted: 平成7年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 甲第1334号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-S260
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000288168; http://id.ndl.go.jp/bib/000000288168
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

もくじ

1 序論

1.1 プラズフプロセシングスと狭ギャップRIE

1.2 非平衡プラズマの研究の現状