TiO[2]を添加したアルミナセラミックスの静電的性質とその応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
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p1
第1章 緒論
p5
1.まえがき
p5
2.静電チャック
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- TiO2 オ テンカシタ アルミナ セラミックス ノ セイデンテキ セイシツ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 渡部俊也 [著]
- 著者標目
- 渡部, 俊也, 1959- ワタナベ, トシヤ, 1959- ( 00649022 )典拠
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成7年3月26日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1995
- 報告番号
- 甲第2913号
- 学位
- 博士 (工学)