TiO[2]を添加したアルミナセラミックスの静電的性質とその応用に関する研究
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Table of Contents
論文目録
目次
p1
第1章 緒論
p5
1.まえがき
p5
2.静電チャック
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- TiO2 オ テンカシタ アルミナ セラミックス ノ セイデンテキ セイシツ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 渡部俊也 [著]
- Author Heading
- 渡部, 俊也, 1959- ワタナベ, トシヤ, 1959- ( 00649022 )Authorities
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成7年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1995
- Dissertation Number
- 甲第2913号
- Degree Type
- 博士 (工学)