軟X線による半導体極微細加工の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 軟X線による半導体極微細加工の研究
• タイトルよみ: ナンXセン ニ ヨル ハンドウタイ ゴクビサイ カコウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 小川太郎 [著]
• 著者標目: 小川, 太郎 オガワ, タロウ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成6年4月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 乙第2614号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-T484
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000289008; http://id.ndl.go.jp/bib/000000289008
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章:緒論

1.1 本研究の背景

1.2 本研究の目的