貴金属スパッタリング薄膜の成長および加熱過程の結晶成長学的研究
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論文目録
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p1
第1章 緒論
p1
1-1 スパッタリング成膜を結晶成長として捉える意義
p1
1-2 本研究における着目点
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- キキンゾク スパッタリング ハクマク ノ セイチョウ オヨビ カネツ カテイ ノ ケッショウ セイチョウガクテキ ケンキュウ
- 著者・編者
- 菅原昭 [著]
- 著者標目
- 菅原, 昭 スガワラ, アキラ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成6年4月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 乙第2615号
- 学位
- 博士 (工学)