貴金属スパッタリング薄膜の成長および加熱過程の結晶成長学的研究
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Table of Contents
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論文目録
目次
p1
第1章 緒論
p1
1-1 スパッタリング成膜を結晶成長として捉える意義
p1
1-2 本研究における着目点
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- キキンゾク スパッタリング ハクマク ノ セイチョウ オヨビ カネツ カテイ ノ ケッショウ セイチョウガクテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 菅原昭 [著]
- Author Heading
- 菅原, 昭 スガワラ, アキラ
- Degree Grantor
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成6年4月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 乙第2615号
- Degree Type
- 博士 (工学)