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博士論文

SOI(Si on Insulator)技術に関する研究

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SOI(Si on Insulator)技術に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-95-T489
国立国会図書館書誌ID
000000289013
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3104500
資料種別
博士論文
著者
有本由弘 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京工業大学,博士 (工学)
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目次

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  • 論文目録

  • 第一章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景

    p1

  • 1.2 LSI開発における本研究の目的

    p2

  • 1.3 多層化技術としてのLSI

    p7

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書誌情報

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紙 デジタル

資料種別
博士論文
タイトル
SOI(Si on Insulator)技術に関する研究
タイトルよみ
SOI (Si on Insulator) ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
有本由弘 [著]
著者標目
有本, 由弘 アリモト, ヨシヒロ ( 00907864 )典拠
授与機関名
東京工業大学
授与年月日
平成6年4月30日
授与年月日（W3CDTF）
1994
報告番号
乙第2619号
学位
博士 (工学)