高機能集積化半導体圧力センサに関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 高機能集積化半導体圧力センサに関する研究
• タイトルよみ: コウキノウ シュウセキカ ハンドウタイ アツリョク センサ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 杉山進 [著]
• 著者標目: 杉山, 進 スギヤマ, ススム ( 001157238 )典拠
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成6年5月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 乙第2631号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-T501
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000289025; http://id.ndl.go.jp/bib/000000289025
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景と目的

1.2 半導体圧力センサ研究の経緯